超純水設(shè)備、電子超純水一般工藝流程

[2011/5/13]

　　電子超純水一般工藝流程：

　　(水質(zhì)符合美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級(jí))

　　典型工藝2:原水→預(yù)處理→反滲透→EDI→精密過(guò)濾→用水點(diǎn)

　　·預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

　　·預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

　　·預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

　　·預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

　　應(yīng)用場(chǎng)合：

　　·半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;

　　·超純材料和超純化學(xué)試劑;

　　·實(shí)驗(yàn)室和中試車間

　　·汽車、家電表面拋光處理;

　　·其他高科技精微產(chǎn)品。